真空計按測量性質(zhì)可分為真空計和相對真空計。所謂真空計就是通過測量物理量本身確定壓力的種真空計,例如U型壓力計、壓縮式真空計就是真空計。通過測量與壓力有關(guān)的物理量并與真空計比較來確定壓力的真空計稱為相對真空計。我們校準(zhǔn)的電離真空計、電容薄膜真空計、熱傳導(dǎo)真空計,都是相對真空計。電離真空計,電離規(guī)管的結(jié)構(gòu)為個圓筒型三管,它有三個電:陰F發(fā)射電子;柵A加速電子,收集C收集離子。般陰加零電位,柵加正電位,收集加負(fù)電位。它的點主要是能夠測量氣體與蒸氣的全壓強; 反應(yīng)迅速,可連續(xù)讀數(shù)和遠(yuǎn)距離控制; 量程寬,線性好,測量精度較。缺點主要是在壓強于10- 1 Pa時,容易氧化燈絲,旦系統(tǒng)突然暴露大氣會燒壞規(guī)管;玻殼、電的放氣導(dǎo)致測量的誤差。
校準(zhǔn)電離真空計時,應(yīng)注意以下六點:
(1)般情況下,規(guī)管和系統(tǒng)連接時,先將未開封的規(guī)管和測量電路連接到起試下,檢查規(guī)管是否正常,然后再接到系統(tǒng)。
(2)在校準(zhǔn)的過程中,如果出現(xiàn)故障,在原因不明的情況下,拿支未開封的規(guī)管試下,判斷是規(guī)管的問題,還是電路的問題。如果換上未開封的規(guī)管切正常,說明原規(guī)管有問題;如果換上未開封的規(guī)管仍然不正常,說明電路有問題,這樣就縮小了故障的范圍。
(3)規(guī)管安裝時應(yīng)豎直安裝,否則在加熱除氣,烘烤時柵和陰產(chǎn)生變形,相對位置變化,將會嚴(yán)重影響測量精度。
(4)在開燈絲前,判斷被測真空系統(tǒng)中的真空度確信小于10-1Pa時,才能開燈絲,否則真空度太低,導(dǎo)致規(guī)管陰氧化而燒毀。
(5)在讀數(shù)之前,應(yīng)先調(diào)整好發(fā)射電流、零點及滿度。具體步驟是: 發(fā)射電流—零點—滿度—發(fā)射電流。
(6)電離真空計只需要加電預(yù)熱10分鐘就可以校準(zhǔn)了。

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